Курсовая Методы синтеза хлорсиланов, номер: 229110

"Введение……………………………………………………………….. 2
• Синтез хлорсиланов …………………………………………... 3
• Свойства хлорсиланов ………………………………………..15
• Механизм гидролиза хлорсиланов………………………….. 21
Заключение …………………………………………………………… 25
Список использованной литературы……………………………… 26
1. Андрианов К. А. Синтез кремнийорганических мономеров, М., 1961
2. Реньян В.Р. Технология полупроводникового кремния. Прев. с англ. Изд-во ""Металлургия"", 1969, с.336.
3. Лапидус И.И., Кочан Б.А., Перепелкин В.В. и др.; Металлургия поликристаллического кремния высокой чистоты. - М.: Металлургия, 1971. - 143 с.
4. Лапидус И.И., Нисельсон Л.А. Тетрахлорсилан и трихлорсилан. - М.: Химия. 1970. - 128с.
5. Фалькевич Э.С., Пульнер Э.О., Червонный И.Ф. Технология полупроводникового кремния. М.: Металлургия, 1992. - 408с.
6. Воронков М. Г., Зелчан Г. И., Лукевиц Э. Я., Кремний и жизнь, 2 изд., Рига, 1978;
7. Соболевский М. В., Музовская О. А., Попелева Г. С., Свойства и области применения кремнийорганических продуктов, М., 1975;

"